	Электронный каталог РНТБ			[?]
	Базовый \| Расширенный \| Номера/Индексы \| Булевский \| По словарям \| Новые поступления	История МОИ ЗАКАЗЫ	РЕГИСТРАЦИЯ

Запрос: gasnti="47.14.05?"
Записи: 1 - 1 из 1 (стр. 1 из 1)

Сортировать по:

№	Дата	Автор	Заглавие
	2013	Мадвейко, Сергей Игоревич (кандидат технических наук ; род. 1984)	Вакуумно-плазменная СВЧ разрядная система резонаторного типа для плазмохимического удаления фоторезистивных слоев : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Мадвейко Сергей Игоревич ; Учреждение образования Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники