| № | Дата |
Автор |
Заглавие |
|---|
|
2010 |
Галперин, Вячеслав Александрович (кандидат технических наук ; род. 1954) |
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова |
|
2010 |
Комаров, Фадей Фадеевич (доктор физико-математических наук ; род. 1945) |
Ионная имплантация диэлектриков : [монография] / Ф. Ф. Комаров, А. В. Леонтьев |
|
1988 |
Попов, Владимир Федорович (физик) |
Процессы и установки электронно-ионной технологии : учебное пособие для вузов по специальностям электронной техники / В. Ф. Попов, Ю. Н. Горин |
|
2016 |
Купо, Александр Николаевич (кандидат технических наук ; физик ; род. 1979) |
Лазерная активация электрохимических процессов формирования токопроводящих структур электронной техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Купо Александр Николаевич ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2020 |
Вилья Пинеда, Номар Альберто (кандидат технических наук) |
Формирование тонкопленочных изолирующих слоев с высокой диэлектрической проницаемостью для интегральных МДП структур реактивным магнетронным распылением : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Вилья Пинеда Номар Альберто ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2021 |
Нгуен Динь Туен (кандидат технических наук, радиоэлектроника) |
Формирование пленок оксида ванадия для неохлаждаемых приемников инфракрасного излучения реактивным магнетронным распылением : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Нгуен Динь Туен ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2022 |
Комаров, Фадей Фадеевич (доктор физико-математических наук ; род. 1945) |
Ионная и фотонная обработка материалов : учебное пособие для студентов учреждений высшего образования по специальностям "Физическая электроника", "Радиофизика" / Ф. Ф. Комаров, С. В. Константинов |
|
2021 |
Строкин, Николай Александрович |
Плазменная электроника : учебное пособие / Н. А. Строкин ; Министерство науки и высшего образования РФ, Иркутский национальный исследовательский технический университет |
|
2023 |
Доан Тхе Хоанг (микроэлектроника) |
Формирование тонкопленочных слоев с высокой диэлектрической проницаемостью на основе сложных оксидов реактивным магнетронным распылением : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Доан Тхе Хоанг ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
